实验室的基本情况
        微电子实验室的前身为半导体实验室，成立于上世纪70年代，原隶属于无线电工程系，70年代末随半导体物理与器件专业一并划归应用物理系，1998年随专业调整，更名微电子实验室，隶属于理学院，为理学院电子科学与技术、微电子学专业的共建实验室。实验室采取主任负责，实验技术人员和专业教师共同参与的建设管理机制。实验室位于南校区逸夫科教楼10楼，用房（使用）面积约600平方米，实验仪器设备160多台套，固定资产约300万元。实验室现有实验技术人员2人。
 　　实验室主任：易茂祥， 副教授，硕士。
 　　联系电话：2901465

           
实验室主要功能与特色
        微电子实验室以本科专业实验教学为中心，兼顾研究生培养和科学研究基地建设。实验室结合专业培养计划和学科建设的特点，建设了具有自己特色的集成电路设计、半导体器件设计模拟、微电子工艺及测试、光电子技术等相关的实验教学设施环境。配有以九天 Zeni2003系统为中心的IC后端设计软硬件系统，拥有License数量55个，基于FPGA的IC设计软硬件实验开发系统和以Technology CAD为中心的器件及工艺CAD系统5个License；购置了原子力显微镜、扫描探针显微镜、半导体特性测试系统、电子束蒸发系统、扩散氧化工艺系统、光刻工艺系统等一批较先进的和具有特色的测试和工艺仪器设备。
 实验室承担的主要工作
        微电子实验室主要承担理学院电子科学与技术和微电子学专业本科生的半导体物理、半导体器件物理、超大规模集成电路设计、集成电路版图设计、微电子工艺、薄膜物理与技术、半导体材料、光电子技术等相关专业课程的实验教学任务；本科生综合性集成电路课程设计任务，以及毕业设计（论文）实践环节工作；同时支持微电子学与固体电子学研究生的论文部分实验研究工作和教师的科研实验工作，以良好的管理和服务支撑学科专业的建设和发展。
 实验室建设与发展方向
 　　微电子实验室的未来建设和发展整体上适应学校发展需要，适应社会对微电子相关领域高级人才的应用能力需要，实验室将根据电子科学与技术、微电子学专业建设发展方向，继续围绕本科专业实验教学这个中心进行建设，同时坚持为研究生的培养和科研工作服务，做好实验室建设和管理工作。已计划新增实验室使用面积400平方米，进一步做好微电子测试、工艺、光电子技术项目的建设完善工作，强化特色实验环境和实验项目建设，加强和充实实验技术队伍，以推动实验室的新一轮快速发展。